Microscope à force atomique
Microscope à force atomique
Surface de silicium sur laquelle le mot « QUEST » a été imprimé par oxydation locale du silicium sous la pointe d'un microscope à force atomique soumise à une tension électrique. Les différentes nuances de jaune à l'arrière-plan correspondent à des plans atomiques différents, distants de 0,3 nm environ. La largeur d'un trait est de 10 nm, ce qui représente une résolution 18 fois meilleure que l'état de l'art industriel dans le domaine de la lithographie appliquée à la fabrication de circuits intégrés.
Ph. © E. Dubois, IEMN/ISEN UMRS CNRS 8520